基于离子束技术的信息材料制备

欧欣

研究员 百人计划入选者

谭杨

2016-01-22 10:00

离子束报告厅

载能离子束技术广泛应用于微电子材料和器件的合成、掺杂与改性，纳米加工，材料分析，并已成为新型集成电路材料SOI(Si-on-insulator)制备领域的核心技术。该技术的发展直接推动了微纳电子材料与超大规模集成电路等关键领域的发展。报告结合本课题组的研究工作简要介绍一下离子注入及低能离子辐照技术在半导体表面纳米图形化、纳米结构掺杂、阻变存储器改性及新型SOI基材料制备方面的应用。

2009年博士毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所。2007年至2009年在德国德累斯顿罗森多夫研究中心联合培养，之后在德国亥姆霍兹德累斯顿-罗森多夫研究中心（HZDR）从事研究工作。2014年，通过中科院“百人计划”引进加入中科院上海微系统与信息技术研究所工作，任研究员。